AlAs選択酸化膜形成技術
書誌事項
- タイトル別名
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- AlAs selective oxidation Process
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収録刊行物
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- 應用物理
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應用物理 69 (11), 1339-1340, 2000-11-10
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1572261549552052992
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- NII論文ID
- 10008979683
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- NII書誌ID
- AN00026679
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- ISSN
- 03698009
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles