軟X線ミラー用短周期超格子の成長

• 金月 俊樹

  理学電機(株)X線研究所

• 山本 雅彦

  大阪大学大学院工学研究科マテリアル科学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Epitaxial growth of short-period metallic superlattices for soft-X-ray mirrors
• 最近の展望 軟X線ミラー用短周期超格子の成長
• サイキン ノ テンボウ ナンXセン ミラーヨウ タンシュウキ チョウコウシ ノ セイチョウ

抄録

現在多用されているスパッタ蒸着アモルファス短周期多層膜を用いた高角入射軟X線ミラーはすでにその性能の限界に達しており,反射性能の向上のためのブレークスルーが求められている.この課題を解決するため,最近,原子層エピタキシー法による半導体系短周期超格子の軟X線ミラーへの応用が試みられ,また従来は適用が困難であった通常の分子線エピタキシー法を基礎として,各種元素の組み合わせの検討により困難を克臓したAI系短周期金属超格子の軟X線ミラーへの適用が検討されており,展望が開けてきた。本稿では,これら超格子の特徴,成長・構造ならびにその軟X線ミラーへの応用の可能性について報告する.

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 70 (4), 428-432, 2001

  公益社団法人 応用物理学会

キーワード

• X-ray mirror
• soft-X-ray
• multilayer
• superlattice
• short period
• atomic layer epitaxy
• molecular-beam epitaxy
• reflectance
• interfacial roughness

詳細情報

• CRID: 1390001204596858368
• NII論文ID: 10008980939
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu1932.70.428
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD3MXivFyhsLk%3D
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 5730413
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5730413
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可