研究紹介 ラダー電極を用いた大面積均一VHFプラズマの生成と製膜への応用

• 河合 良信

• 村田 正義

• 竹内 良昭

Bibliographic Information

Other Title

• ケンキュウ ショウカイ ラダー デンキョク オ モチイタ ダイ メンセキ キンイツ VHF プラズマ ノ セイセイ ト セイ マク エ ノ オウヨウ

Journal

• 応用物理

  応用物理 70 (4), 438-442, 2001-04

  東京 : 応用物理学会

Keywords

• VHF plasma
• ladder electrode
• glow discharge
• plasma uniformity
• deposition rate
• large area

Details

• CRID: 1520290884360157568
• NII Article ID: 10008980980
• NII Book ID: AN00026679
• ISSN: 03698009
• NDL BIB ID: 5730542
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5730542
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles