プロセスプラズマの分光計測  [in Japanese] Spectroscopic diagnostics of procressing plasmas  [in Japanese]

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プロセスプラズマのモニターとして発光分光法は,簡単でありながらさまざまの情報が得られるため,最も広く用いられている.最近,微量の希ガスをトレーサーとして放電ガスに添加することで,発光分光法により粒子密度や電子のエネルギー分布関数を定量的に求める方法が開発されてきている.本稿では,その概要と現状について述べる.また,これと関連したレーザー分光計測法として,レーザー吸収法,レーザー誘起蛍光法およびレーザートムソン散乱法の概要についても述べる.

Journal

  • OYOBUTURI

    OYOBUTURI 70(7), 864-867, 2001-07-10

    The Japan Society of Applied Physics

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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10008981692
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN00026679
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL Article ID
    5829578
  • NDL Source Classification
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL Call No.
    Z15-243
  • Data Source
    CJP  NDL  J-STAGE 
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