プロセスプラズマの分光計測

• 内野 喜一郎

  九州大学大学院総合理工学研究院

書誌事項

タイトル別名

• Spectroscopic diagnostics of processing plasmas
• 基礎講座〈基礎編:プロセス用プラズマ技術〉 プロセスプラズマの分光計測
• キソ コウザ キソヘン プロセスヨウ プラズマ ギジュツ プロセスプラズマ ノ ブンコウ ケイソク

抄録

プロセスプラズマのモニターとして発光分光法は,簡単でありながらさまざまの情報が得られるため,最も広く用いられている.最近,微量の希ガスをトレーサーとして放電ガスに添加することで,発光分光法により粒子密度や電子のエネルギー分布関数を定量的に求める方法が開発されてきている.本稿では,その概要と現状について述べる.また,これと関連したレーザー分光計測法として,レーザー吸収法,レーザー誘起蛍光法およびレーザートムソン散乱法の概要についても述べる.

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 70 (7), 864-867, 2001

  公益社団法人 応用物理学会

キーワード

• optical emission spectroscopy
• actinometry
• electron energy distribution function
• laser absorption spectroscopy
• laser induced fluorescence
• Thomson scattering

詳細情報

• CRID: 1390282679573601152
• NII論文ID: 10008981692
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu1932.70.864
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD3MXltVCgsLo%3D
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 5829578
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5829578
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可