摩擦力顕微鏡(FFM)機構を利用した極微細加工に関する研究(第8報) : 加工表面層の構造分析と各種アルカリエッチングの影響

• 陳 利益

  千葉大院

• 森田 昇

  千葉大工

• 芦田 極

  機械技研

• 平井 聖児

  都立高専

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2000 (2), 271-, 2000-09-01

詳細情報

• CRID: 1573387449521574400
• NII論文ID: 10009886967
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles