大気圧プラズマCVD法によるアモルファスSiの高速成膜に関する研究 : 太陽電池変換効率のパラメーター依存性について

• 江畑 裕介

  シャープ株式会社

• 中村 恒夫

  シャープ株式会社

• 竹内 博明

  シャープ株式会社

• 北條 義之

  シャープ株式会社

• 古川 和彦

  シャープ株式会社

• 森 勇蔵

  大阪大学大学院

• 芳井 熊安

  大阪大学大学院

• 安武 潔

  大阪大学大学院

• 垣内 弘章

  大阪大学大学院

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2001 (2), 252-, 2001-09-01

詳細情報

• CRID: 1573950399474322176
• NII論文ID: 10009888576
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles