水素誘起自己組織化および走査トンネル顕微鏡を用いたシリコン表面ナノ構造形成

• 久保 理

  大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 小林 正

  大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 山岡 延充

  大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻

• SARANIN A. A.

  大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻

• ZOTOV A. V.

  大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 大西 秀朗

  大阪大学超高圧電子顕微鏡センター

• 片山 光浩

  大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 尾浦 憲治郎

  大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Si surface nanostructure formation with a combined use of H-induced self-organization and STM-tip-induced H Extraction

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2001 (2), 282-, 2001-09-01

詳細情報

• CRID: 1573950399474608512
• NII論文ID: 10009888665
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles