小型自走機械群による超精密生産機械システム : 第67報-ホッピング加工による微細パターンの形成

• 新村 武

  電気通信大学

• 青山 尚之

  電気通信大学

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (2), 111-, 2002-10-01

詳細情報

• CRID: 1571980074647783296
• NII論文ID: 10009984018
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles