真空中浮上搬送装置を目指した静電浮上機構(静電レール)への交流浮上の応用

• 新野 俊樹

  東大生研

• 塚本 英隆

  東大大学院

• 淺間 一

  理化学研究所

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (2), 251-, 2002-10-01

詳細情報

• CRID: 1571135649717788416
• NII論文ID: 10009984415
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles