摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究(第1報)

• 芦田極

収録刊行物

• 日本機械学会論文集(C編)

  日本機械学会論文集(C編) 64 4072-, 1998

詳細情報

• CRID: 1572543024699475200
• NII論文ID: 10010081129
• データソース種別:
  • CiNii Articles