光干渉計測を用いた表面粗さ解析手法

• 松下 宏

Bibliographic Information

Other Title

• ヒカリ カンショウ ケイソク オ モチイタ ヒョウメン アラサ カイセキ シュホウ
• 特集 最近の表面粗さ計測の動向
• トクシュウ サイキン ノ ヒョウメン アラサ ケイソク ノ ドウコウ

Journal

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 46 (10), 493-496, 2002-10

  東京 : 砥粒加工学会

Keywords

• optical interferometry
• vertical resolution
• objective
• spatial frequency
• Rsk
• Rku
• field of view

Details

• CRID: 1520009407359588480
• NII Article ID: 10010081497
• NII Book ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL BIB ID: 6316618
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6316618
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles