電子線を用いた3次元計測

• 堀田 昌直

Bibliographic Information

Other Title

• デンシセン オ モチイタ 3ジゲン ケイソク
• 特集 最近の表面粗さ計測の動向
• トクシュウ サイキン ノ ヒョウメン アラサ ケイソク ノ ドウコウ

Journal

• Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 46 (10), 497-500, 2002-10

  東京 : 砥粒加工学会

Keywords

• electron beam
• secondary electron
• detector
• Lambert' slow
• gradient
• integral
• roughness

Details

• CRID: 1520009407308561792
• NII Article ID: 10010081501
• NII Book ID: AN10192823
• ISSN: 09142703
• NDL BIB ID: 6316628
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6316628
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles