マイクロマシン  実用化とナノ領域への展開  静電マイクロアクチュエータの駆動機構と設計限界

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タイトル別名
  • Mechanism and Performance Limit of Electrostatic Microactuators
  • カイセツ セイデンマイクロアクチュエータ ノ クドウ キコウ ト セッケイ ゲンカイ

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収録刊行物

  • 計測と制御

    計測と制御 42 (1), 18-23, 2003

    公益社団法人 計測自動制御学会

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参考文献 (14)*注記

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