超高精度微細加工への挑戦　　制御と計測　　位置決め制御技術の現状と動向

• 大塚 二郎

  静岡理工科大学 理工学部 機械工学科 社団法人 計測自動制御学会

書誌事項

タイトル別名

• Present Technology of Positioning Control
• カイセツ イチギメ セイギョ ギジュツ ノ ゲンジョウ ト ドウコウ

収録刊行物

• 計測と制御

  計測と制御 41 (11), 769-774, 2002

  公益社団法人 計測自動制御学会

キーワード

• 位置決め制御
• 精密・超精密位置決め

詳細情報

• CRID: 1390282681494102912
• NII論文ID: 10010415856
• NII書誌ID: AN00072406
• DOI: 10.11499/sicejl1962.41.769
• ISSN: 18838170
• ISSN: 04534662
• NDL書誌ID: 6355901
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6355901
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
  • Crossref