超高精度微細加工への挑戦　　制御と計測　　液晶光造形法によるマイクロ３次元形状加工

• 高谷 裕浩

  大阪大学大学院 工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Three Dimensional Microforming by Means of Stereolithography using LCD Mask
• ジレイ ショウカイ エキショウ ヒカリ ゾウケイホウ ニ ヨル マイクロ 3ジゲン ケイジョウ カコウ

収録刊行物

• 計測と制御

  計測と制御 41 (11), 803-806, 2002

  公益社団法人 計測自動制御学会

キーワード

• 液晶マスク
• 動画像マスク
• マイクロ光造形法
• 3次元形状
• マイクロ部品

詳細情報

• CRID: 1390282681494116608
• NII論文ID: 10010415954
• NII書誌ID: AN00072406
• DOI: 10.11499/sicejl1962.41.803
• ISSN: 18838170
• ISSN: 04534662
• NDL書誌ID: 6355992
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6355992
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles