反応メカニズムに基づいた異方性エッチングプロセスのコンピュータシミュレーション-凸形およぴ凹形コーナにおける仕上がり形状-

Author(s)

Journal

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 60,5, 698, 1994

Cited by:  1

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10011634459
  • Article Type
    Journal Article
  • Data Source
    CJPref 
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