Fabrication of Silicon Micro-Needles by Using Plasma Process.

• 八田 章光

  高知工科大学電子•光システム工学科

• 藤森 洋行

  東芝セラミックス(株)

Bibliographic Information

Other Title

• プラズマ応用の新しい展開―５　　プラズマによる微細針状シリコンの形成
• プラズマ ニ ヨル ビサイ ハリジョウ シリコン ノ ケイセイ

Journal

• The Journal of The Institute of Electrical Engineers of Japan

  The Journal of The Institute of Electrical Engineers of Japan 123 (10), 656-659, 2003

  The Institute of Electrical Engineers of Japan

Keywords

• シリコン
• ナノテクノロジー
• マイクロ波プラズマ
• スパッタリング
• 電子放出材料

Details

• CRID: 1390282679638410496
• NII Article ID: 10011750030
• NII Book ID: AN10432927
• DOI: 10.1541/ieejjournal.123.656
• ISSN: 18814190
• ISSN: 13405551
• NDL BIB ID: 6717972
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6717972
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1994/123/10/123_10_656/_pdf
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN