InP単結晶インゴットアニール過程の転位密度の3次元解析

• 宮崎 則幸

• 隈本 彰寛

Bibliographic Information

Other Title

• InPタンケッショウ インゴットアニール カテイ ノ テンイ ミツド ノ 3ジゲン カイセキ

Journal

• 日本計算工学会論文集 / 日本計算工学会 編

  日本計算工学会論文集 / 日本計算工学会 編 5 67-72, 2003

  東京 : 日本計算工学会

Keywords

• Finite element method
• Annealing
• InP
• Crystal anisotropy
• Dislocation density

Details

• CRID: 1520572359714339072
• NII Article ID: 10011928654
• NII Book ID: AA11346669
• ISSN: 13449443
• NDL BIB ID: 7071906
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7071906
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM13(科学技術--科学技術一般--データ処理・計算機)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles