MEMSにおけるスティクションのメカニズムとその対策 Mechanism of Stiction in MEMS and Its Reduction Methods

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著者

    • 土谷 茂樹 TSUCHITANI Shigeki
    • 和歌山大学 システム工学部光メカトロニクス学科 Department of Opto-Mechatronics, Faculty of Systems Engineering, Wakayama University

収録刊行物

  • トライボロジスト

    トライボロジスト 49(2), 128-133, 2004-02-15

    日本トライボロジ-学会

参考文献:  19件中 1-19件 を表示

被引用文献:  3件中 1-3件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012127929
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10056166
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151168
  • NDL 記事登録ID
    6850845
  • NDL 雑誌分類
    ZN11(科学技術--機械工学・工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-540
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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