MEMSへの空気軸受の適用 Application of Molecular Gas-Film Lubrication to MEMS Elements

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著者

    • 福井 茂寿 FUKUI Shigehisa
    • 鳥取大学 工学部応用数理工学科 Department of Applied Mathematics and Physics, Faculty of Engineering, Tottori University

収録刊行物

  • トライボロジスト

    トライボロジスト 49(2), 134-140, 2004-02-15

参考文献:  44件中 1-44件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012127949
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10056166
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151168
  • データ提供元
    CJP書誌 
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