MEMSへの空気軸受の適用

• 福井 茂寿

Bibliographic Information

Other Title

• MEMS エ ノ クウキ ジクウケ ノ テキヨウ
• 特集・MEMSのトライボロジー
• トクシュウ MEMS ノ トライボロジー

Journal

• トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編

  トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編 49 (2), 134-140, 2004

  東京 : 日本トライボロジー学会 ; 1989-

Keywords

• tribology
• gas film lubrication
• molecular gas dynamics
• MEMS elements
• nano-technology
• squeeze damping
• thermal creep flow

Details

• CRID: 1520290883547363968
• NII Article ID: 10012127949
• NII Article ID: 40006114225
• NII Book ID: AN10056166
• ISSN: 09151168
• NDL BIB ID: 6850849
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6850849
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles