Ni-B Electroless Plating as Cap Layer for Ag Multi-Level Metallization

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収録刊行物

  • Materials transactions

    Materials transactions 43(7), 1615-1620, 2002-07-01

    Japan Institute of Metals

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    LOPATIN S.

    Characterization of Electroless Cu, Co, Ni AND Their Alloys for ULSI Metallization Conference Proceedings ULSI XIII, 1998, 437-443, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    OHNO I.

    Electrical Chemical 53, 196-201, 1985

    被引用文献1件

  • <no title>

    HAYASHI T.

    Electroless plating, 41-42, 1994

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012325319
  • NII書誌ID(NCID)
    AA1151294X
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13459678
  • NDL 記事登録ID
    6240678
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z53-J286
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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