波長可変レーザーを用いた干渉計における段差測定の高感度化 High Resolution Measurement of Steps Using a Wavelength Scanning Interferometer

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 光学

    光学 30(12), 827-833, 2001-12-10

    応用物理学会分科会日本光学会

参考文献:  7件中 1-7件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012333232
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00080324
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03896625
  • NDL 記事登録ID
    6015583
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-269
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
ページトップへ