ＭＥＭＳの現状と将来展望　　光ＭＥＭＳのための表面微細加工と集積化技術

• 羽根 一博

  東北大学大学院 工学研究科

• 佐々木 実

  東北大学大学院 工学研究科

• 金森 義明

  東北大学大学院 工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Surface Micro-Fabrication and Integration for Optical MEMS
• 光MEMSのための表面微細加工と集積化技術
• ヒカリ MEMS ノ タメ ノ ヒョウメン ビサイ カコウ ト シュウセキカ ギジュツ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 54 (10), 640-643, 2003

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Silicon Micromachining
• Optical MEMS
• Optical Switch
• Optical Scanner

詳細情報

• CRID: 1390282679094890496
• NII論文ID: 10012452677
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.54.640
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 6741660
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6741660
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles