光 MEMSのための表面微細加工と集積化技術 Surface Micro-Fabrication and Integration for Optical MEMS

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  • 表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan

    表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan 54(10), 640-643, 2003-10-01

    The Surface Finishing Society of Japan

参考文献:  5件中 1-5件 を表示

  • <no title>

    佐々木

    電気学会論文誌 E 122-E, 235, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    KANAMORI Y.

    Proc. Optical MEMS 119, 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    ISHIMORI M.

    Jpn. J. Appl. . Phys. 42, 4063, 2003

    被引用文献2件

  • <no title>

    SASAKI M.

    J. Lightwave Technol. 21, 602, 2003

    被引用文献3件

  • <no title>

    SASAKI M.

    Jpn. J. Appl. Phys. 39, 7150, 2000

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012452677
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1005202X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09151869
  • NDL 記事登録ID
    6741660
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-291
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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