極浅領域の深さ方向分析用多層ＢＮデルタドープ標準物質とそれによるスパッタ速度変化の評価

• 本間 芳和

  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所

• 竹中 久貴

  NTTアドバンステクノロジ株式会社

書誌事項

タイトル別名

• Multiple BN Delta-layers as the Reference Material forUltra-shallow Depth Profiling and Evaluation of the Sputtering Rate Variation
• ゴクセンリョウイキ ノ フカサ ホウコウ ブンセキヨウ タソウ BN デルタドープ ヒョウジュン ブッシツ ト ソレニ ヨル スパッタ ソクド ヘンカ ノ ヒョウカ

収録刊行物

• 真空

  真空 46 (11), 772-776, 2003

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390001204064625664
• NII論文ID: 10012512309
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.46.772
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 6762388
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6762388
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles