弾性波デバイス開発の立場から見た圧電薄膜 Piezoelectric Film for Acoustic Wave Devices

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  • 真空

    真空 46(11), 777-781, 2003-11-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  16件中 1-16件 を表示

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    中鉢憲賢

    応用物理 46, 663-676, 1977

    被引用文献1件

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    SHIOSAKI T.

    Proc. IEEE Ultrason. Symp. (1978), 100-110, 1978

    被引用文献1件

  • <no title>

    和佐清孝

    応用物理 50, 580-591, 1981

    被引用文献1件

  • <no title>

    NAKAHATA H.

    Proc. IEEE Ultrason. Symp. (1995), 621-629, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    清水洋

    極微構造エレクトロニクス 6.4.3, 485-491, 1986

    被引用文献1件

  • <no title>

    RUBY R.C.

    Proc. IEEE Ultrason. Symp. (2001), 813-821, 2001

    被引用文献1件

  • <no title>

    LAKIN K. M.

    Proc. IEEE Ultrason. Symp. (2002), 879-886, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    RAJENDRAN V.

    Jpn. J. Appl. Phys. 31(Suppl. 31-1), 216-218, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    太田淳

    Ulvac Technical Journal 41, 90-94, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    一ノ瀬昇

    エレクトロセラミックス 6. 2. 3, 6175-6182, 1984

    被引用文献1件

  • <no title>

    IEKI H.

    Proc. IEEE Ultrason. Symp. (1999), 281-290, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    HICKERNELL F. S.

    Proc. IEEE Ultrason. Symp. (1982), 325-328, 1982

    被引用文献1件

  • <no title>

    MAKISHIMA Y.

    Jpn. J. Appl. Phys. 33(Part 1, 5B), 2998-3000, 1994

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    MATSUOKA N.

    J. Appl. Phys. 63(6), 2098-2103, 1988

    DOI 被引用文献1件

  • Zinc Oxide Films for Acoustoele tric Device Applications

    HICKERNELL F. S.

    IEEE Trans. Sonics and Ultrason. SU-32(5), 621-629, 1985

    被引用文献7件

  • 対向ターゲットスパッタ法による圧電性酸化亜鉛薄膜の作製

    橋本 研也 , 小川 正太郎 , 野々口 晃典 , 大森 達也 , 山口 正恆

    電子情報通信学会論文誌. C-1, エレクトロニクス 1-光・波動 00082(00012), 777-783, 1999-12-25

    参考文献16件 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012512318
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    6762390
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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