マイクロマシンの光応用 : 光MEMSを中心とした開発事例とMEMSファンドリーサービスの紹介 Optical Application of Micromachine Technology : Development of the Optical MEMS and Introduction of MEMS Foundry Service

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収録刊行物

  • 静電気学会誌

    静電気学会誌 27(6), 262-267, 2003-11-30

    静電気学会

参考文献:  7件中 1-7件 を表示

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    Yole Development

    http://www.yole.fr/

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012540801
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00128613
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03862550
  • NDL 記事登録ID
    6784198
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-349
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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