プラズマソースイオン注入法によるダイヤモンドライクカーボンの作製とその特性

• 畑田 留理子

  Materials Science Section, Industrial Technology Center of Nagasaki

• 馬場 恒明

  Materials Science Section, Industrial Technology Center of Nagasaki

書誌事項

タイトル別名

• Preparation and Properties of Diamond-Like Carbon by Plasma Source Ion Implantation

収録刊行物

• 表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan

  表面技術 = The journal of the Surface Finishing Society of Japan 54 (11), 782-783, 2003-11-01

キーワード

• Diamond-Like Carbon
• DLC
• Plasma Source Ion Implantation
• PSII

詳細情報

• CRID: 1573950399872303616
• NII論文ID: 10012549024
• NII書誌ID: AN1005202X
• ISSN: 09151869
• 本文言語コード: en
• データソース種別:
  • CiNii Articles