神経電位計測用フレキシブルシリコンプローブアレイ

• 赤松 直樹

  東京大学生産技術研究所

• 鈴木 隆文

  東京大学大学院情報理工学系研究所

• 満渕 邦彦

  東京大学大学院情報理工学系研究所

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所

• 金 範〓

  東京大学生産技術研究所

• 竹内 昌治

  東京大学生産技術研究所

書誌事項

タイトル別名

• A Silicon Micro Probe Array on a Flexible Substrate for Neural Recording
• シンケイ デンイ ケイソクヨウ フレキシブルシリコンプローブアレイ

抄録

In order to realize long-term stable multi-channel neural recording, a micro probe array based on a flexible polyimide substrate was designed and fabricated. Each probe was formed by etching a silicon wafer using a Deep RIE equipment. This type of flexible microelectrode can be attached around the soft nervous tissue. This paper shows the fabrication process and the analysis on the flexibility of the electrode to estimate the utility for the application to tissues (brain, nerve, retina, and so on).

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 123 (12), 571-576, 2003

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• 神経電極
• 微細電極
• MEMS
• フレキシブル

詳細情報

• CRID: 1390001204460225280
• NII論文ID: 10012557614
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.123.571
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 6781367
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6781367
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/123/12/123_12_571/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可