Electron tomography of materials and semiconductor devises

• Tanaka Nobuo

  名古屋大学理工科学総合研究センター

Bibliographic Information

Other Title

• 電子線トモグラフィー　　材料・デバイス系試料の電子線トモグラフィー
• ザイリョウ デバイスケイ シリョウ ノ デンシセン トモグラフィー

Journal

• KENBIKYO

  KENBIKYO 39 (1), 26-30, 2004

  The Japanese Society of Microscopy

Keywords

• 電子線トモグラフィー
• トポグラフィー
• 3次元観察
• 半導体デバイス

Details

• CRID: 1390001205218448384
• NII Article ID: 10012854550
• NII Book ID: AA11917781
• DOI: 10.11410/kenbikyo2004.39.26
• ISSN: 24342386
• ISSN: 13490958
• NDL BIB ID: 6961198
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6961198
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles