集束イオンビームによる三次元ナノテクノロジーの展開 Development of three-dimensional nanotechnology using focused ion beam

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  • 應用物理

    應用物理 73(4), 445-454, 2004-04-10

    応用物理学会

参考文献:  17件中 1-17件 を表示

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    SELIGER R. L.

    Appl. Phys. Lett. 34, 310, 1979

    被引用文献7件

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    MATSUI S.

    Nanotechnology 7, 247, 1996

    被引用文献3件

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    石谷了

    真空 26, 99, 1983

    被引用文献1件

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    日本電子顕微鏡学会

    日本電子顕微鏡学会第50回学術講演会予稿集, 1994 49, 1994

    被引用文献1件

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    皆藤孝

    日本学術振興会 第132委員会 第136回研究会資料, 1995 7, 1995

    被引用文献1件

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    MATSUI S.

    Nanotechnology 7, 247, 1996

    被引用文献3件

  • <no title>

    MATSUI S.

    Proceedings of the IEEE 85, 629, 1997

    被引用文献2件

  • <no title>

    KOOPS H. W.

    Jpn. J. Appl. Phys. 33, 7099, 1994

    被引用文献2件

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    BLAUNER P. G.

    Proceedings International Microprocess Conference, 1991 309, 1991

    被引用文献1件

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    MATSUI S.

    J. Vac. Sci., Technol. B18, 3168, 2000

    被引用文献1件

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    KOMETANI R.

    J. Vac. Sci. Technol. B22, 257, 2003

    被引用文献1件

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    永山國開昭著

    パリティブック「自己集積の自然と科学」, 1997

    被引用文献1件

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    KINOSHITA S.

    FORMA 17, 103, 2002

    被引用文献4件

  • 回折光学における最近の話題

    菊田 久雄 , 岩田 耕一

    電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス 00083(00003), 173-181, 2000-03-25

    参考文献53件 被引用文献2件

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    HOSHINO T.

    J. Vac. Sci. & Technol. B 21, 2732, 2003

    被引用文献11件

  • <no title>

    MORITA T.

    J. Vac. Sci. & Technol. B 21, 2737, 2003

    被引用文献13件

  • Nozzle-Nanostructure Fabrication on Glass Capillary by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition and Etching

    Kometani Reo , Morita Takahiko , Watanabe Keiichiro , Kanda Kazuhiro , Haruyama Yuichi , Kaito Takashi , Fujita Junichi , Ishida Masahiko , Ochiai Yukinori , Matsui Shinji

    Japanese journal of applied physics. Pt. 1, Regular papers & short notes 42(6B), 4107-4110, 2003-06-15

    応用物理学会 J-STAGE 参考文献2件 被引用文献6件

被引用文献:  3件中 1-3件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012857317
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    6911393
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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