親指サイズ電子顕微鏡の研究・開発

• 三好 元介

  東京大学先端科学技術研究センター

書誌事項

タイトル別名

• Development of finger-sized ultrasmall electron microscope
• 研究紹介 親指サイズ電子顕微鏡の研究・開発
• ケンキュウ ショウカイ オヤユビ サイズ デンシ ケンビキョウ ノ ケンキュウ カイハツ

抄録

親指サイズの超小型電子顕微鏡を開発している．その第一のコア技術であるセラミックス一体型コラムを試作した．セラミックス一体型コラムは導電性セラミックスの円筒内面に，すべての電子光学エレメントを一体で形成する技術である．安定した高抵抗導電性を示すアルミナベースの導電性セラミックス材料を開発し，かつ，高精度研磨加工により各レンズ電極をセラミックス円筒内に集積して形成することができた． 二次電子画像観察を通してコンセプトを検証することができ，このセラミックス一体型コラムをベースにしてポータブルSEMの試作機を製作した．

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 73 (4), 476-480, 2004-04-10

  公益社団法人 応用物理学会

キーワード

• scanning electron microscope
• electro-optical system
• electrostatic lens
• conductive ceramics
• micro-machining
• secondary electron image

詳細情報

• CRID: 1390845702288965248
• NII論文ID: 10012857423
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu.73.4_476
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 6911489
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6911489
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可