微細加工ツールとしてのプローブ技術 Scanning probe techniques for micro/nano fabrication tools

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著者

    • 岩田 太 IWATA Futoshi
    • 静岡大学工学部機械工学科 Department of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering, Shizuoka University
    • 佐々木 彰 SASAKI Akira
    • 静岡大学工学部機械工学科 Department of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering, Shizuoka University

収録刊行物

  • 應用物理

    應用物理 73(4), 490-493, 2004-04-10

    応用物理学会

参考文献:  19件中 1-19件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012857458
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    6911538
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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