電子線が絶縁物に与える帯電とその補償 Charging of Insulating Materials during AES Measurements : Some Approaches for Charging Compensation

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抄録

The electron irradiation to non-conductive materials causes building up of surface charge that makes the electron probe analysis, such as AES or EMPA, difficult. On the other hand, small area analysis is needed increasingly especially for insulating portions of semiconductor devices and ceramics (sapphire, quartz glass and so on). Therefore, charge compensation in AES analysis that provides high special resolution has becomes important. This paper introduces the conventional charge compensation methods and shows some applications of using the low energy ion irradiation method.

収録刊行物

  • 表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan

    表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan 25(4), 217-223, 2004-04-10

    公益社団法人 日本表面科学会

参考文献:  28件中 1-28件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012860686
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03885321
  • NDL 記事登録ID
    6919677
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-379
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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