EPMA/SEMにおける試料損傷について Specimen Damage in EPMA/SEM

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抄録

Specimen damage due to electron beam irradiation is a serious problem for EPMA/SEM observation, which is caused by heat produced in the process of inelastic scattering of incident electrons. The produced heat is in proportion to the specimen current and accelerating voltage and is in inverse proportion to the beam diameter. The thin film method using this substrates for the soft materials is effective to avoid the electron beam damage. Several effective methods to suppress the specimen damage are presented and discussed by using real examples.

収録刊行物

  • 表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan

    表面科学 = Journal of The Surface Science Society of Japan 25(4), 224-231, 2004-04-10

    The Surface Science Society of Japan

参考文献:  14件中 1-14件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012860715
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00334149
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03885321
  • NDL 記事登録ID
    6919682
  • NDL 雑誌分類
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL 請求記号
    Z15-379
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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