高強度低合金チタンにおけるガス放出速度のベーキング温度・ベーキング時間依存性

• 村中 武

  山口大学工学部機能材料工学科

• 栗巣 普揮

  山口大学工学部機能材料工学科

• 和田 直之

  山口大学工学部機能材料工学科

• 山本 節夫

  山口大学工学部機能材料工学科

• 松浦 満

  山口大学工学部機能材料工学科

• 部坂 正樹

  新光産業株式会社

書誌事項

タイトル別名

• Baking Effect for Outgassing Rate of Titanium Alloy
• コウキョウド テイゴウキン チタン ニ オケル ガス ホウシュツ ソクド ノ ベーキング オンド ベーキング ジカン イゾンセイ

抄録

We have investigated the pre-baking effect for the outgassing property of a titanium alloy. The outgassing rate of the order of 10^-12 Pa · m · s^-1 is obtained after the modest baking condition, e.g. 100°C × 3 h. This value is lower than that of standard vacuum materials by two orders of magnitude after the ordinary baking condition, e.g. 180°C ×48 h. From the Arrhenius plots of the outgassing rate after the baking at 150°C × 20 h, the activation energy Eq for the outgassing is 0.45 eV. This value is smaller than that for the hydrogen diffusion dissolved in bulk titanium. It is interpreted that the very low hydrogen content occurs at the surface oxide layer by the modest pre-baking treatment.

収録刊行物

• 真空

  真空 47 (3), 116-119, 2004

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679040080896
• NII論文ID: 10012866957
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.47.116
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/05598516
• NDL書誌ID: 6929281
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6929281
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可