ナノ秒パルス・ベッセルビームを用いたレーザーマイクロドリル Laser Micro Drilling Using a Nanosecond-Pulse Bessel Beam

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著者

    • 松岡 芳彦 MATSUOKA Yoshihiko
    • 産業技術総合研究所マイクロ・ナノ機能広域発現研究センター Research Center for Advanced Manufacturing on Nanoscale Science and Engineering, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)
    • 河野 正道 KOHNO Masamichi
    • 産業技術総合研究所マイクロ・ナノ機能広域発現研究センター Research Center for Advanced Manufacturing on Nanoscale Science and Engineering, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)

抄録

The feasibility was examined of using a Bessel beam (J0 beam) for laser micro drilling. A J0 beam, generated using a nanosecond pulse laser and an Axicon, was used to drill into 20 μm-thick SUS304 stainless steel foil. The fairly precise columnar penetration holes were about 3 μm in diameter, with an aspect ratio of approximately 7. A J0 beam can be used to process both transparent and opaque materials. The major problems of the present laser micro drill will be solved by using a J0 beam. It is thought that the excellent characteristics of laser drill using a J0 beam is given by the extremely deep focal depth a J0 beam has.

収録刊行物

  • レーザー研究

    レーザー研究 32(5), 348-351, 2004-05-15

    The Laser Society of Japan

参考文献:  16件中 1-16件 を表示

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10012932404
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00255326
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03870200
  • NDL 記事登録ID
    6953232
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-1040
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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