Pt/BaxSr(1-x)TiO3/Pt Capacitor Technology for 0.15μm Embedded Dynamic Random Access Memory

• Yoshikazu Tsunemine

• Tomonori Okudaira

• Keiichiro Kashihara

書誌事項

タイトル別名

• Pt BaxSr 1 x TiO3 Pt Capacitor Technology for 0 15マイクロm Embedded Dynamic Random Access Memory

抄録

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌

収録刊行物

• Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP

  Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP 43 (5A), 2457-2461, 2004-05

  Tokyo : Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physics

キーワード

• BST
• perovskite oxides
• platinum
• MIM
• capacitors
• dielectrics
• leakage current

詳細情報

• CRID: 1520853832964299136
• NII論文ID: 10012947026
• NII書誌ID: AA10457675
• ISSN: 00214922
• NDL書誌ID: 6941863
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6941863
• 本文言語コード: en
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles