シンクロトロン放射X線を用いた3次元微細加工技術 Three-Dimensional Microfabrication Technology Using Synchrotron Radiated X-ray

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  • 日本写真学会誌 = Journal of The Society of Photographic Science and Technology of Japan

    日本写真学会誌 = Journal of The Society of Photographic Science and Technology of Japan 67(3), 293-299, 2004-06-25

    日本写真学会

参考文献:  11件中 1-11件 を表示

  • <no title>

    田畑修訳

    シリコンマイクロ加工の基礎, 2001

    被引用文献2件

  • <no title>

    BECKER E. W.

    Natuwissenschaften 69, 520, 1982

    被引用文献2件

  • <no title>

    UENO H.

    The 12th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1999 23, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    KATOH T.

    The Transaction E of The Institute of Electrical Engineering of Japan 120-E(7), 375, 2000

    被引用文献2件

  • <no title>

    TABATA O.

    The 12th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 1999 252, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    TABATA O.

    The 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2001 94, 2001

    被引用文献1件

  • <no title>

    TABATA O.

    The 15th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2002 180, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    MATSUZUKA N.

    The 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems 681, 2004

    被引用文献1件

  • Silicon as a mechanical material

    PETERSEN K. E.

    Proc. of The IEEE 70(5), 420-457, 1982

    DOI 被引用文献59件

  • <no title>

    ROMANKIW L. T.

    IEEE Transactions on Magnetics 6, 597, 1970

    DOI 被引用文献9件

  • X線応用3次元加工用シミュレーションシステムの開発

    平井 義和 , Hafizovic Sadik , Korvink Jan G. , 田畑 修

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 123(9), 368-375, 2003

    J-STAGE 被引用文献1件

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10013135371
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00191766
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03695662
  • NDL 記事登録ID
    7010368
  • NDL 雑誌分類
    ZP48(科学技術--印写工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-495
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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