EUVL用レーザー生成プラズマ光源の開発

この論文をさがす

著者

    • 小森 浩
    • 技術研究組合 極端紫外線露光システム技術開発機構(EUVA)平塚研究開発センタ

収録刊行物

  • 精密工学会秋季大会. シンポジウム資料

    精密工学会秋季大会. シンポジウム資料 2004, 31-34, 2004-09-10

参考文献:  10件中 1-10件 を表示

  • <no title>

    FRANKEN H.

    EUV Source Workshop CD file (Antwerp, September, 2003), 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    MCNAUGHT Stuart

    EUV Source Workshop CD file (Santa Clara, Feb, 2003), 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    HANSSON Bjorn

    EUV Source Workshop CD file (Santa Clara, Feb, 2003), 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    STAMM Uwe

    EUV Source Workshop (Santa Clara, Feb, 2004), 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    遠藤彰

    平成15年度 極端紫外線 (EUV) 露光技術研究成果報告会 (2004年6月), 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    RICHARDSON M.

    Proc. SPIE 5196, 119, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    TOMIE T.

    Proc. SPIE 5374, 383, 2004

    被引用文献2件

  • <no title>

    ENDO A.

    Proc. SPIE 5111, 226, 2003

    被引用文献1件

  • レーザー生成プラズマを用いた次世代リソグラフィEUV光源

    西原 功修 , 西村 博明 , 望月 孝晏 , 佐々木 明

    レーザー研究 32(5), 330-336, 2004-05-15

    J-STAGE 参考文献29件 被引用文献1件

  • EUVリソグラフィと露光装置

    村上 勝彦 , 岡崎 信次

    プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research 79(3), 221-225, 2003-03-25

    J-STAGE 参考文献14件 被引用文献8件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10013226111
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11136994
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ