大面積触媒CVD装置の開発 Development of catalytic chemical vapor deposition equipment for large substrates

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  • 應用物理

    應用物理 73(7), 935-938, 2004-07-10

    応用物理学会

参考文献:  10件中 1-10件 を表示

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    TAKEUCHI Y.

    Thin Solid Films 386, 133, 2001

    被引用文献2件

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    上田仁

    第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2003 822, 2003

    被引用文献1件

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    MATSUMURA H.

    Thin Solid Films 395, 1, 2001

    被引用文献11件

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    UMEMOTO H.

    J. Appl. Phys. 91, 1650, 2002

    被引用文献13件

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    KARASAWA M.

    Proc. 21st Int. Display Research Conf. in conjunction with 8th Int. Display Workshop, Nagoya, 2001 1735, 2001

    被引用文献1件

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    MATSUMURA H.

    Thin Solid Films 430, 7, 2003

    被引用文献5件

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    ISHIBASHI K.

    Thin Solid Films 430, 58, 2003

    被引用文献2件

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    北添牧子

    第63回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2002 731, 2002

    被引用文献2件

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    西村悟

    電子情報通信学会 電子部品 材料研究会報告資料 61, 2001

    被引用文献1件

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    大園修司

    第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2003 824, 2003

    被引用文献2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10013266812
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    7018385
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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