イオンビームアシスト研磨法によるSiC表面ナノ構造形成

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著者

    • 江龍 修
    • 名古屋工業大学大学院工学研究科しくみ領域
    • 安部 功二
    • 名古屋工業大学大学院工学研究科ながれ領域
    • 嶽本 昇
    • 名古屋工業大学大学院産業戦略工学専攻

収録刊行物

  • 電気加工技術

    電気加工技術 28(90), 13-18, 2004-07-16

    電気加工学会

参考文献:  8件中 1-8件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10013434780
  • NII書誌ID(NCID)
    AN0033342X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03891550
  • NDL 記事登録ID
    7049096
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-1136
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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