高機能水を用いた洗浄 Cleaning with High-Functional Water

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  • 化学工学 = CHEMICAL ENGINEERING OF JAPAN

    化学工学 = CHEMICAL ENGINEERING OF JAPAN 68(3), 148-150, 2004-03-05

    化学工学会

参考文献:  11件中 1-11件 を表示

  • <no title>

    KERN W.

    RCA Review 31, 187, 1970

    被引用文献12件

  • <no title>

    大見忠弘

    第25回超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウムUCS半導体基盤技術研究会, 19-32

    被引用文献1件

  • <no title>

    KUBO K.

    Extended abstracts of 188th Electrochemical Society Meeting, 1995 710, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    都田昌之

    初歩から学ぶ機能水, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    上平恒

    水とはなにか, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    YAMASHITA K.

    Clean Technology 7(4), 47, 1997

    被引用文献2件

  • <no title>

    桜井弘

    ESRスペクトルの実際, 1989

    被引用文献9件

  • <no title>

    ALDER G. A.

    J. Am. Chem. Soc. 72, 1884, 1950

    被引用文献1件

  • <no title>

    阿久戸和哉

    修士学位論文, 山形大学, 2001

    被引用文献1件

  • <no title>

    加藤正行

    修士学位論文, 山形大学, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    WEISS J.

    Trans. Faraday Soc. 31, 668, 1935

    DOI 被引用文献7件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10013443117
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00037212
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03759253
  • NDL 記事登録ID
    6986775
  • NDL 雑誌分類
    ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-53
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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