超大型高純度石英ルツボの開発と製品化

• 佐々木 丈夫

  ジャパンスーパークォーツ(株)秋田事業所

• 麓 直隆

  Japan Super Quartz Corp.

• 辻 義行

  Japan Super Quartz Corp.

• 神田 稔

  Japan Super Quartz Corp.

書誌事項

タイトル別名

• Development and Commercialization of Super High Purity Quartz Crucible

収録刊行物

• セラミックス

  セラミックス 39 (8), 631-632, 2004-08-01

詳細情報

• CRID: 1570854175097353088
• NII論文ID: 10013528719
• NII書誌ID: AN00131516
• ISSN: 0009031X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles