超大型高純度石英ルツボの開発と製品化 Development and Commercialization of Super High Purity Quartz Crucible

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収録刊行物

  • セラミックス

    セラミックス 39(8), 631-632, 2004-08-01

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10013528719
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00131516
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    0009031X
  • データ提供元
    CJP書誌 
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