ナノプリント技術による高アスペクト比構造の形成と応用 Formation of High Aspect Ratio Structures by Nanoprint Technology and Applications

この論文をさがす

著者

    • 宮内 昭浩 MIYAUCHI Akihiro
    • (株)日立製作所 材料研究所 電子材料研究部 Department of Electric Materials Research, Material Research Laboratory, Hitachi Ltd.
    • 桑原 孝介 KUWABARA Kosuke
    • (株)日立製作所 材料研究所 電子材料研究部 Department of Electric Materials Research, Material Research Laboratory, Hitachi Ltd.
    • 荻野 雅彦 [他] OGINO Masahiko
    • (株)日立製作所 材料研究所 電子材料研究部 Department of Electric Materials Research, Material Research Laboratory, Hitachi Ltd.
    • 安藤 拓司 ANDO Takuji
    • (株)日立製作所 材料研究所 電子材料研究部 Department of Electric Materials Research, Material Research Laboratory, Hitachi Ltd.
    • 大橋 健也 OHASHI Kenya
    • (株)日立製作所 材料研究所 電子材料研究部 Department of Electric Materials Research, Material Research Laboratory, Hitachi Ltd.

収録刊行物

  • 日本印刷学会誌

    日本印刷学会誌 41(4), 211-216, 2004-08-31

    日本印刷学会

参考文献:  15件中 1-15件 を表示

  • <no title>

    XIA Y.

    Annu. Rev. Mater. Sci. 28, 153, 1998

    被引用文献11件

  • <no title>

    G. M. ホワイトサイズ

    日経サイエンス 12月号, 30, 2001

    被引用文献6件

  • <no title>

    COLBURN M.

    SPIE conference, 1999 3676, 379, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    MASUDA H.

    Appl. Phys. Lett. 71(10), 2770, 1997

    被引用文献4件

  • <no title>

    HIRAI Y.

    Micro-and Nanoengineering Int. Conf., 2002 162, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    CHOU S. Y.

    Nature 417, 835, 2002

    被引用文献8件

  • <no title>

    MIYAUCHI A.

    1st Int. Conf. Nanoimprint and Nanoprint Technology, 2002 16, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    MIYAUCHI A.

    Int. Symp. on Fusion of Nano and Bio Technologies, 2003 12, 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    宮内昭浩

    Next Generation Lithography 2003 133, 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    KUWABARA K.

    International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 2003 338, 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    KUWABARA K.

    Micro and Nano Engineering 2003 78, 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    MIYAUCHI A.

    Int. Symp. Micro-Mechanical Engineering, 2003 12, 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    MIYAUCHI A.

    2nd Int. Conf. Nanoimprint Nanoprint Technology (2003), 2003

    被引用文献4件

  • <no title>

    宮内昭浩

    平成16年電気学会全国大会講演論文集 3, 2004

    被引用文献1件

  • <no title>

    荻野雅彦

    成形加工'04 83, 2004

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10013536803
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10161648
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09143319
  • NDL 記事登録ID
    7064509
  • NDL 雑誌分類
    ZP48(科学技術--印写工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-491
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
ページトップへ