AlNの半導体製造装置用部材への適用 Application of Aluminum Nitride Ceramics for Semiconductor Fabrication Apparatus

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収録刊行物

  • セラミックス

    セラミックス 39(9), 688-691, 2004-09-01

    日本セラミックス協会

参考文献:  5件中 1-5件 を表示

被引用文献:  7件中 1-7件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10013578285
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00131516
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    0009031X
  • NDL 記事登録ID
    7065056
  • NDL 雑誌分類
    ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
  • NDL 請求記号
    Z17-206
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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