ナノインプリンティング法によるナノ構造体の創成(<特集>メカニカルリソグラフィ) Nanostructure Fabrication by Nanoimprint Technology(<Special Issue>Mechanical Lithography)

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 70(10), 1223-1227, 2004-10-05

    公益社団法人精密工学会

参考文献:  16件中 1-16件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10013653088
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1003250X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09120289
  • NDL 記事登録ID
    7114008
  • NDL 雑誌分類
    ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-466
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  NII-ELS  J-STAGE 
ページトップへ