トライボナノリソグラフィーと化学エッチングを併用した単結晶シリコンのマイクロファブリケーション(<特集>メカニカルリソグラフィ) Micro Fabrication of Single Crystal Silicon by Tribo-Nanolithography and Wet Chemical Etching(<Special Issue>Mechanical Lithography)

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著者

収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 70(10), 1236-1239, 2004-10-05

    公益社団法人精密工学会

参考文献:  17件中 1-17件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10013653124
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1003250X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    09120289
  • NDL 記事登録ID
    7114030
  • NDL 雑誌分類
    ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-466
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  NII-ELS  J-STAGE 
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