Direct-Write Lithography by Dip Pen Nanolithography

• SHIKATA Hiroshi

  (株)東陽テクニカ

Bibliographic Information

Other Title

• メカニカルリソグラフィ　　ディップペン・ナノリソグラフィーによる直接描画技術
• ディップ ペン ナノリソグラフィー ニ ヨル チョクセツ ビョウガ ギジュツ

Journal

• Journal of the Japan Society for Precision Engineering

  Journal of the Japan Society for Precision Engineering 70 (10), 1240-1244, 2004

  The Japan Society for Precision Engineering

Keywords

• dip pen nanolithography
• SPM
• direct-write lithography
• nanoscale alignment
• passive probe array
• active probe array

Details

• CRID: 1390282679772771456
• NII Article ID: 10013653142
• NII Book ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.70.1240
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL BIB ID: 7114041
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7114041
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles